1200℃高真空迷你CVD设备
文章出处：洛阳西格马高温电炉有限公司 人气：0 发表时间：2025-01-04
1200℃高真空迷你CVD设备
小型化CVD系统配有一款迷你管式炉，采用电阻丝加热，设备*高温度可达1200℃。仪器还包含一台三路浮子流量计，一台分子泵组，分别构成了CVD的进气和出气部分。可用于用于沉积绝缘材料、金属材料和金属合金材料，如氮化硅膜。
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