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质子流量计混气控制系统\多通道质子流量计控制系统

文章出处:未知 人气:  发表时间:2020-09-16

多通道质子流量计控制系统是一款低成本多路质量流量计控制系统,其质量流量计和不锈钢混气罐都安装在一个移动柜里,移动柜额定可以承重1000Lbs,与本公司大多数管式炉配套使用时,可将管式炉置于移动柜上以节约空间。各通道气路的流量设定和状态显示都集中在一6"的LCD触摸屏上,便与操控的同时,可实时查看气体流量曲线和数据。此款设备广泛的用于材料界中CVD或PECVD实验和各种材料的退火实验。

多通道质子流量计控制系统适用于低压小流量,多种气体单一/混合连续供气系统。尤其方便多种气体的切换使用,而不会造成大气进入加热管。

气体压力和流量数据在同一平面直观可读,外形美观、实用,操作简便。

采用触摸屏来控制气体的流量,显示流量准确,方便操作。

所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接,便于维修拆卸。

PLC触摸屏     

各通道的气路设定和查看都集中在一6"的触摸屏上

RS485通讯接口和PC控温软件可以连接到电脑上,进行远程控制,(可选)

机械压力表    

有一机械压力表安装于前面板上,与混气罐相连接

量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)

通气管道        

内部连接管道为1/4”不锈钢管

外部通气管道为1/4”聚四氟管

混气罐    

Φ80X120mm

截止阀及配件        

316/304不锈钢针阀

Φ1/4”不锈钢管

 

气体从钢瓶出来,经过减压阀减压,通过四氟管到供气系统的入口,再经过质子流量计控制气体流量,然后经过混气罐,再进入炉子进气口,气体从出气管出来,经过三通阀门,一端连接真空泵,一端连接出气口。

混气罐上接有压力表,压力表显数盘与质子流量计安装在同一面板上。

每一条气体管路均有一个高压截止阀,安全有保证。

该气路采用高精度气体浮子流量计,气路内部全采用四氟管,耐腐蚀性好。

所有接头采用卡套连接,气密性好,耐压高。

四路质子气体流量计主要参数:

产品名称

四路质子气体流量计

流量计类型

质子流量计

流量计管芯

304不锈钢

调节阀类型

电磁调节阀

管道常态

常闭

流量计外壳

黑色铝壳

气体种类

4种

接口尺寸

1/4"

测量精度

±1.0%F.S

线性度

±0.5%F.S

重复精度

±0.2%F.S

压力范围

-0.1-0.15 MPa

A路气体测量范围

0~100SCCM

B路气体测量范围

0~200SCCM

C路气体测量范围

0~500SCCM

流量控制范围

2%~100%

零点温漂

0.6F.S(15~35℃)

响应时间

2S

工作环境温度

(15~50℃)

精度保证温度

(15~35℃)

供电电源

220V 50Hz

外形尺寸

L800×W600×H580

设备重量

63kg

多通道质子流量计控制供气系统内部压力不能过大,不然容易造成漏气,只要气体能正常流出来即可。质量流量计技术参数:质子流量控制器普通型,模拟电路,橡胶密封,管状分流,不易堵塞。

四通道质子流量计控制供气系统的配置:

质子流量计:4个

压力表:1个

截止阀门:5个

穿板接头:5个

阀门接头:2个

钢瓶接头: 4个

聚四氟乙烯管:20M

混气罐:1个

炉架:1台

多通道质子流量计控制系统应用范围: 

1.用于半导体制造行业中气体流量控制 
2.用于各种真空镀膜设备 
3.用于材料表面处理 
4.用于气体燃烧控制 
5.用于混和配气系统 
6.用于泄漏探测系统 
7.用于环境检测与分析设备 
8.用于分析仪器的气体流量计量与控制 
9.用于化工、石化、冶金、光纤熔炼等需要气体检测和控制的场所 

 

多通道质子流量计控制系统常用尺寸规格参数:

产品

二通道质子流量计控制系统

三通道质子流量计控制系统

四通道质子流量计控制系统

五通道质子流量计控制系统

工作温度

5-45℃

5-45℃

5-45℃

5-45℃

额定压力

3*10^6 Pa

3*10^6 Pa

3*10^6 Pa

3*10^6 Pa

精度

±1.5% FS

±1.5% FS

±1.5% FS

±1.5% FS

重复精度

±0.2%FS

±0.2%FS

±0.2%FS

±0.2%FS

流量范围

一路:1~199 SCCM

二路:1~199 SCCM

一路:0~100 SCCM

二路:1~199 SCCM

三路:1~499 SCCM

一路:0~100 SCCM

二路:1~199 SCCM

三路:1~199 SCCM

四路:1~499 SCCM

一路:0~100 SCCM

二路:1~199 SCCM

三路:1~199 SCCM

四路:1~499 SCCM

注意

其他流量范围的可定制(0~100 、1~200 、1~500 、1~1000 、1~2000   、1~5000 SCCM),需额外费用

五-九路可按照客户要求定制

 

 

此文关键词: 混气控制系统
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