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1200°C三温区二通道混气高真空CVD系统炉OT/1200℃-III-HVC
1200°C三温区二通道混气高真空CVD系统炉OT/1200℃-III-HVC 的详细介绍
OT/1200℃-III-HVC是由OT/1200℃-III三温区管式炉，二路质子混气系统和高真空机组组成。其额定温度可达1200℃，极限真空度可达 10-5 torr。混气系统可以对两种气体进行的混气，然后导入到管式炉内部。
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OT/1200℃-III管式炉 |
壳体结构 |
双层壳体结构，便带有风冷系统，使得壳体表面温度小于55度 内炉膛表面涂有美国的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命 |
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炉管 |
材质：高纯石英管 石英管包含在内 可以选择其他管径 | |
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功率 |
7KW |
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额定电压 |
AC 208-240V 单相50/60Hz |
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加热元件 |
Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo（电阻丝表面涂有氧化锆涂层，程度的延长加热元件的使用寿命） |
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工作温度 |
额定温度：1200℃ 连续工作温度：1100℃ | |
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升温速率 |
升温速率：1~20℃/min 可编程 |
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加热区长度 |
总加热区：900mm (300mm + 300mm + 300mm) |
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控温程序 |
三个精密温度控制器分别控制三个温区 PID自动控制方式，可设置30段升降温程序 控温精度：±1℃ 热电偶：采用K型热电偶进行测温 | |
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真空密封 |
一对不锈钢真空法兰，已经安装 法兰上已安装机械压力表 一对精密针阀 KF-40抽气接口 | |
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额定电压 |
AC 208-240V 单相, 50/60Hz |
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尺寸 |
1100(L) x 450(W) x 670(H), mm |
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高真空机组 |
结构 |
壳体尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm 承重:600 Lbs 分子泵显示屏：LCD 数字显示 壳体内安装有有一台德国制造分子泵 |
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抽气速率 |
N2 33L/s He 39L/s(2340L/minute) H232L/s | |
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工作范围 |
From 1000 mbar to <1E-7 mbar |
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极限 |
<1E-8 mbar (无泄漏) |
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电压&功率 |
110VAC~220VAC, 110W |
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质量流量控制系统 |
壳体结构 |
2~9通道气体采用PLC触摸屏控制和PC操作软件 LED 显示 4通道MFC采用316不锈钢制作，气体流量如下
通道1: 0~100SCCM 通道2: 1~199 SCCM 通道3: 1~199 SCCM 通道4: 1~499 SCCM 4个通道的气体经过气体混合罐尺寸: 600(L) x 745(W) x 700(H), mm |
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功率 |
18W |
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额定电压 |
AC 208-240V, 单相, 50/60Hz |
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开门断电 |
为保证使用安全，该电炉为开门断电设计 |
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质保期 |
一年质保期，相关耗材除外，如炉管密封圈加热元件等易耗件 |
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使用注意事项 |
炉管内气压不可高于0.02MPa 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加安全 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 石英管的长时间使用温度＜1100℃ 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等） | |
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